電子無塵車間的設計要求需要注意什么
電子工業無塵車間的特點一是大，二是多變。幾千平方米、上萬平方米的面積并不少見。電子工業的技術更新快，工藝變了，平面布局就要跟著變，因此平面上不宜有固定的分隔，特別是很小的分隔。具體說，有以下一些獨特之處應加注意。
（1）平面由工藝決定，電子工業潔凈廠房的工藝布局應適應電子產品發展的靈活性，滿足產品生產工藝改造和擴大生產的需求。
（2）主體結構宜采用大空間及大跨度柱網，不宜采用內墻承重體系。
（3）大型電子工業潔凈廠房常采用上技術夾層、下技術夾層這種“夾心”式多層構造。
（4）應考慮大型生產工藝設備的安裝、維修要求，設置必要的運輸通道和不影響潔凈生產環境的安裝口或檢修口。
（5）電子工業無塵車間按二級耐火等級設計。
（6）特種氣體的儲存和分配間應有耐火隔墻與無塵車間（區）分開，該墻耐火極限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物氣瓶存區至少三面是敞開的，氣瓶與周圍構筑物或圍欄之間的距離應大于3M，儲存區設置的雨篷應不低于3.5M。
（7）電子工業無塵車間的裝飾材料不得采用釋放對電子產品有影響物質的材料。
（8）電子工業無塵車間允許設空氣吹淋室，這是和一般生物無塵車間不同的。吹淋室應與潔凈工作服更衣室相鄰。單人吹淋室按*大班人數為30人一間設計，當工作人員超過5人時，應設旁門，當人數太多或為了縮短通過時間，也可設遂道式吹淋室。
（9）對于**別無塵車間，為了盡可能不影響氣流的單向性、平行性，照明燈具采用凈化淚珠形燈具。
（10）電子工業無塵車間常要根據生產工藝要求設置防靜電環境，以便抑制靜電的產生，將已產生的靜電迅速、**的排除。
（11）電子工業無塵車間友有對防微振的特殊要求，在廠地環境上應避開振動源。
（12）電子工業無塵車間除有一般給排水要求外，對超大規格集成電路的用水也有標準。
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電子工業無塵車間的環境參數
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參?數 |
數?值 |
說?明 |
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截面風速/（M/S） |
0.3-0.5 0.2-0.4 |
潔凈度1-3級（ISO）無塵車間 潔凈度4-5級（ISO）無塵車間 |
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換氣次數/（次/H） |
50-60 15-25 10-15 |
潔凈度6級（ISO）無塵車間 潔凈度7級（ISO）無塵車間 潔凈度8-9級（ISO）無塵車間 |
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靜壓差/PA |
>5 >10 |
不同等級無塵車間之間以及無塵車間與非無塵車間 之間無塵車間與室外之羊 |
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溫度/。C |
18-22 16-20 按具體工程項目要求24-26 26-28 按具體工程項目要求 |
工藝無要求時的生產環境 人員凈化及生活用房 工藝有要求時的生產環境 工藝無要求時的生產環境 人員凈化及生活用房 工藝有要求時的生產環境 |
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相對濕度/% 冬 夏 |
30-50 按具體工程項目要求 50-70 按具體工程項目要求 |
工藝無要求時的生產環境 工藝有要求時的生產環境 工藝無要求時的生產環境 工藝有要求時的生產環境 |
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新風量/[M3/（人.H) |
40 |
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噪聲/DB(A) |
<65 |
單向流及單向流與非單向流并存的無塵車間 |
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照度/1X |
300-500 200-300 |
非單向流無塵車間主要生產用房(有低照度要求的如光刻、顯示器件等除外） 其他用房 |
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照度均勻度 |
0.7 |
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靜電表面電阻率 |
1*105—1*1010 |
**標準為1*105—1*107 |
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靜電體積電阻率 |
1*104-1*109 |
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地面對地的漏泄電阻 |
*105-1*108 |
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靜電壓 |
<50(45%相對濕度) |
4級(ISO)以上無塵車間 |
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振動速度 振動加速度 振幅 相對位移量 |
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根據工藝或精密設備、儀器儀表特性確定或參照國標<隔振設計規范> |
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電磁干擾 |
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4級(ISO)以上無塵車間,當無塵車間靠近高壓輸配電設施時尤為重要 |
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